活性陽極を持つ真空アーク蒸着法活性陽極を持つ真空アーク蒸着法
Al陰極N2ガス導入真空アークのフットポイントです。
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円筒状の真空チャンバ（容器）の一端部に陰極を配置した真空アーク装置で，円筒真空チャンバの胴が陽極です。中央上部でまぶしく光っているのがAl陰極です。円筒の胴表面，すなわち，陽極表面上には無数の発光点が整然と存在します。これがいわゆるフットポイントです。このフットポイントは陽極表面から盛り上がるように発光している様子がわかります。
フットポイントは陽極モードの一種です。陽極モードにはいろいろな形態があります。陽極モードの説明はこちらから。
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